超精密壓電陶瓷納米定位系統應用

隨著科技的不斷發展,盡可能提高定位精度是許多應用領域的迫切需求,對科研儀器和工業設備的精度要求不斷提高,要求的特征尺寸越來越小,越來越精密,要求的精度從微米至納米量級,運動控制的精度正在被不斷推向極限,普通的運動控制系統已不能滿足應用需求,這給超精密定位技術帶來了巨大的發展機遇和技術挑戰。超精密定位技術已在科研和工業領域中廣泛應用,在半導體制造、顯微技術、表面測量技術、計量、激光、光電子、光纖、生物技術、制藥、醫療、醫學工程、生命科學、天文、航天、精密加工及自動化技術等領域,都能夠看到超精密定位技術的身影,并解決各種精密定位中的苛刻要求,超精密運動與控制技術是先進制造和前沿科學研究的核心技術之一。